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日本電子推出分辨率達63pm的透射電鏡JEM-ARM300F

2014-10-28 作(zuo)者: 瀏覽數:1357

   日前,JEOL宣布推出新型原子分辨率電鏡JEM-ARM300F。

  透射電鏡一直以來(lai)是材(cai)(cai)(cai)料研發(fa)當(dang)中(zhong)進(jin)行微觀結構分(fen)(fen)析的(de)(de)重(zhong)要工具。然而(er),隨著納米(mi)級(ji)或原子水平的(de)(de)先進(jin)材(cai)(cai)(cai)料的(de)(de)研發(fa),針對(dui)這類材(cai)(cai)(cai)料的(de)(de)合(he)成(cheng)研究越來(lai)越需要高分(fen)(fen)辨率的(de)(de)成(cheng)像和(he)分(fen)(fen)析技術(shu)。

  為了滿足這(zhe)種需求,日本電(dian)(dian)子(zi)一直(zhi)聚焦于推出(chu)帶有球差(cha)校(xiao)正器的(de)透射(she)電(dian)(dian)鏡技術來超越(yue)目前的(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)(bian)率極(ji)限。在(zai)2009年,日本電(dian)(dian)子(zi)推出(chu)了JEM-ARM200F,200kV的(de)透射(she)電(dian)(dian)鏡,采用了球差(cha)校(xiao)正技術,分(fen)(fen)辨(bian)(bian)(bian)率達到了80pm(STEM成(cheng)像),這(zhe)是首臺(tai)(tai)達到如此高的(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)(bian)率的(de)商品化電(dian)(dian)鏡。為達到原(yuan)子(zi)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)(bian)率水(shui)(shui)平(ping),JEM-ARM200F整合各種功能來確(que)保高度穩定(ding)的(de)性能。目前,已有超過100臺(tai)(tai)ARM200F安(an)裝在(zai)世界各地(di),許多研究(jiu)人員對于電(dian)(dian)鏡原(yuan)子(zi)水(shui)(shui)平(ping)的(de)成(cheng)像和分(fen)(fen)析非常熟(shu)悉。

  同時,隨著(zhu)像差校正器(qi)的(de)廣泛使用,用戶對(dui)于透(tou)射電鏡又涌(yong)現出各種各樣新(xin)的(de)需(xu)求,除(chu)了(le)高分辨率(lv),還有高分析靈敏度、原位(wei)分析、靈活的(de)加(jia)速電壓控(kong)制,和像差校正的(de)易操(cao)作性。

  因而,JEOL研發了JEM-ARM300F,可以說(shuo)是JEM-ARM200F的(de)升級版,300kV的(de)原子(zi)分(fen)(fen)辨率透射(she)電鏡,采用(yong)日本電子(zi)自有的(de)像(xiang)差校正技(ji)術(shu)。JEM-ARM300F的(de)又被(bei)稱作“GRAND ARM”,分(fen)(fen)辨率可達63pm(STEM分(fen)(fen)辨率)。GRAND ARM可以(yi)根據用(yong)戶的(de)需(xu)求用(yong)于超(chao)高分(fen)(fen)辨率成像(xiang),或高靈敏度的(de)分(fen)(fen)析應(ying)用(yong),以(yi)及原位(wei)分(fen)(fen)析。

  該儀器主要的目標用戶是研究機(ji)構或半導體制造(zao)商。

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