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Phenom 飛納顆粒統計分析測量系統在中國計量院的應用

2015-08-31 作者(zhe): 瀏覽數(shu):1328

最近實(shi)驗(yan)(yan)室買了一(yi)批 PS 聚(ju)苯乙烯小球做實(shi)驗(yan)(yan)模板,形狀非常規則,直(zhi)徑(jing)也非常均勻,標稱直(zhi)徑(jing)分(fen)別為 1.5 μm 和(he) 10 μm 。為了驗(yan)(yan)證其準確(que)性,我(wo)們使用復(fu)納(na)科學儀器(qi)(上海)有限公司北京實(shi)驗(yan)(yan)室的 Phenom 飛納(na)臺式掃描電鏡觀察并統計。在本試驗(yan)(yan)中,利用 Phenom 飛納(na)電鏡的顆粒(li)統計分(fen)析測量系統幫助我(wo)們獲得了漂亮的統計結果,同(tong)時(shi)極大(da)簡(jian)化實(shi)驗(yan)(yan)流程,加快了實(shi)驗(yan)(yan)進度。

 

下圖(tu)為北京實驗室的(de) Phenom 飛納臺式(shi)掃描電(dian)鏡,小(xiao)而精致,左(zuo)邊(bian)的(de)顯示(shi)器用(yong)于呈現樣品在掃描電(dian)鏡下的(de)微觀形貌,右(you)邊(bian)的(de)電(dian)腦(nao)及軟件可以做能(neng)譜分(fen)(fen)析,超大視野全景(jing)拼圖(tu),3D 粗糙度重建,纖維(wei)統計(ji)(ji)分(fen)(fen)析測(ce)量(liang),顆粒(li)統計(ji)(ji)分(fen)(fen)析測(ce)量(liang),孔(kong)徑統計(ji)(ji)分(fen)(fen)析測(ce)量(liang)等,每個軟件在完(wan)成統計(ji)(ji)后,會輸出相應的(de)報告,本文截取顆粒(li)統計(ji)(ji)分(fen)(fen)析測(ce)量(liang)系統的(de)部分(fen)(fen)報告說明。

 

實驗(yan)室的 Phenom 飛納臺式掃描電(dian)鏡

 

在使用顆粒(li)統(tong)(tong)(tong)計分(fen)(fen)析(xi)(xi)測量(liang)系統(tong)(tong)(tong)之前(qian),先借助(zhu)掃描(miao)(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)觀(guan)察 PS 聚(ju)苯乙(yi)烯小(xiao)球(qiu)的(de)(de)(de)微(wei)觀(guan)形(xing)貌。這(zhe)(zhe)個(ge)過程類似于(yu)搜集(ji)樣本,借助(zhu) Phenom 飛納(na)(na)電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)(de)(de)光學(xue)(xue)導航(hang),自(zi)(zi)(zi)(zi)動馬(ma)達樣品臺,找樣的(de)(de)(de)過程非(fei)常簡單。光學(xue)(xue)導航(hang)相當于(yu)有(you)(you)了地圖(tu)(tu),從而有(you)(you)了找到最(zui)佳位置的(de)(de)(de)方(fang)向,自(zi)(zi)(zi)(zi)動馬(ma)達樣品臺可(ke)以(yi)在瞬(shun)間(jian)將視野移動到需要觀(guan)察位置,只需點擊該位置一次(ci)。借助(zhu) Phenom 飛納(na)(na)電(dian)(dian)鏡(jing)顆粒(li)統(tong)(tong)(tong)計分(fen)(fen)析(xi)(xi)測量(liang)系統(tong)(tong)(tong)可(ke)以(yi)一次(ci)處理(li)大(da)(da)(da)量(liang)數據,該軟件最(zui)多(duo)可(ke)以(yi)一次(ci)讀(du)取 400 張(zhang)(zhang)掃描(miao)(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)圖(tu)(tu)片,完成對所有(you)(you)圖(tu)(tu)片的(de)(de)(de)分(fen)(fen)析(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)計,給出統(tong)(tong)(tong)計結(jie)果的(de)(de)(de)圖(tu)(tu)表報告。如果一次(ci)需要幾百張(zhang)(zhang)掃描(miao)(miao)圖(tu)(tu)片作為(wei)樣本的(de)(de)(de)話(hua),不用擔(dan)心(xin)拍照取照時間(jian)過長,結(jie)合 Phenom 飛納(na)(na)電(dian)(dian)鏡(jing)超大(da)(da)(da)視野全(quan)(quan)景拼(pin)圖(tu)(tu),可(ke)以(yi)自(zi)(zi)(zi)(zi)動完成拍照取照的(de)(de)(de)功能,原因是飛納(na)(na)電(dian)(dian)鏡(jing)有(you)(you)光學(xue)(xue)導航(hang),自(zi)(zi)(zi)(zi)動聚(ju)焦,和自(zi)(zi)(zi)(zi)動馬(ma)達樣品臺,這(zhe)(zhe)些(xie)設計通過計算機的(de)(de)(de)指(zhi)令控(kong)制(zhi),可(ke)以(yi)自(zi)(zi)(zi)(zi)動連續掃描(miao)(miao)指(zhi)定(ding)大(da)(da)(da)小(xiao)區域,每分(fen)(fen)鐘可(ke)采(cai)集(ji)超過 100 張(zhang)(zhang) 1024 x 1024 分(fen)(fen)辨率的(de)(de)(de)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang),這(zhe)(zhe)些(xie)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)自(zi)(zi)(zi)(zi)動存儲(chu)在電(dian)(dian)腦的(de)(de)(de)指(zhi)定(ding)文件夾內(nei),同時,這(zhe)(zhe)些(xie)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)可(ke)以(yi)自(zi)(zi)(zi)(zi)動拼(pin)合為(wei)一副(fu)全(quan)(quan)景圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)。Phenom 飛納(na)(na)電(dian)(dian)鏡(jing)顆粒(li)統(tong)(tong)(tong)計分(fen)(fen)析(xi)(xi)測量(liang)系統(tong)(tong)(tong)可(ke)以(yi)快(kuai)速(su)讀(du)取指(zhi)定(ding)文件夾內(nei)的(de)(de)(de)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang),即可(ke)以(yi)讀(du)取由 Phenom 飛納(na)(na)電(dian)(dian)鏡(jing)超大(da)(da)(da)視野全(quan)(quan)景拼(pin)圖(tu)(tu)自(zi)(zi)(zi)(zi)動采(cai)集(ji)的(de)(de)(de)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)。因此可(ke)以(yi)快(kuai)速(su)處理(li)樣本量(liang)大(da)(da)(da)的(de)(de)(de)統(tong)(tong)(tong)計工作,節(jie)省(sheng)人(ren)力。

 

以(yi)下是(shi)本次(ci)實驗中(zhong)使用的 PS 聚苯乙烯小(xiao)(xiao)(xiao)球在 Phenom 飛納臺式掃描電鏡下的部(bu)分圖片,低倍下可(ke)以(yi)觀察到小(xiao)(xiao)(xiao)球的排列情況,高(gao)倍可(ke)以(yi)觀察小(xiao)(xiao)(xiao)球表面的細(xi)節。

 

PS 聚苯乙(yi)烯小球(qiu)放大(da)倍(bei)數:1萬倍(bei)

 

PS 聚苯乙烯(xi)小(xiao)球放(fang)大倍數:2萬倍

 

樣(yang)本準備(bei)好后,開(kai)始(shi)用 Phenom 飛納電鏡顆粒統(tong)計分析測量系統(tong)進行試(shi)驗,我們最先使用標稱直徑 1.5 μm 的 PS 聚苯(ben)乙(yi)烯小(xiao)球試(shi)驗。

 

 

上圖為標(biao)稱直徑 1.5 μm 的(de)(de)(de) PS  聚苯乙(yi)烯(xi)(xi)小(xiao)(xiao)球(qiu)的(de)(de)(de)識(shi)別效果,識(shi)別得非常(chang)完美(mei),5 秒鐘快速給(gei)出結果,同時給(gei)出關于該小(xiao)(xiao)球(qiu)的(de)(de)(de)眾多如(ru)長軸(zhou),短軸(zhou),面積,周長等參數(shu)(shu),大(da)大(da)方便了(le)我們去識(shi)別買來(lai)的(de)(de)(de) PS 聚苯乙(yi)烯(xi)(xi)小(xiao)(xiao)球(qiu)的(de)(de)(de)質量。下(xia)圖為其眾多參數(shu)(shu),可(ke)以看到該小(xiao)(xiao)球(qiu)的(de)(de)(de)平均(jun)直徑為 1.4 μm,總(zong)的(de)(de)(de)來(lai)說質量還不錯。

 

 

并且該軟(ruan)件還能給出(chu)所(suo)有小(xiao)球直(zhi)徑的直(zhi)方(fang)圖(tu),直(zhi)觀方(fang)便,如下圖(tu)所(suo)示可(ke)知大部分的顆粒直(zhi)徑是接近 1.5 μm 的。

 

 

我(wo)們(men)(men)又對 3 μm 和 10 μm 的 PS 聚苯(ben)乙(yi)烯小(xiao)球顆粒做了(le)統計,效(xiao)果一樣完(wan)美,如下圖所示(shi),給出其(qi)平均(jun)直徑分別為 2.73 μm 和 9.72 μm。 Phenom 飛納臺式電鏡的顆粒系統幫助我(wo)們(men)(men)快速準(zhun)確地完(wan)成對 PS 聚苯(ben)乙(yi)烯小(xiao)球直徑的統計工作,省去了(le)一個(ge)小(xiao)球一個(ge)小(xiao)球測(ce)量的麻煩,希望他(ta)們(men)(men)以后(hou)做出其(qi)他(ta)好的軟(ruan)件(jian),大(da)大(da)提高我(wo)們(men)(men)做科研(yan)的效(xiao)率!

 

 

 

 

直徑(jing) 3 μm 的 PS 聚苯(ben)乙烯小球統計結果

 

 

 

 

直(zhi)徑 10 μm 的 PS 聚苯乙烯小球統計(ji)結果

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